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线性驱动
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产品概述 product overview
紧凑型三维平移台结构紧凑，可以在超高真空环境中提供精确的运动和样品位置控制。x/y方向采用微分头控制，z方向采用丝杆，使其运行更加平稳。焊接不锈钢波纹管，允许nw35cf移动法兰在有限范围内移动。安装法兰可选，nw35cf或nw63cf。
规格说明 specification
● 工作气压：10-11 mbar~1 bar
● 驱动方式：手动
● 最高烘烤温度：150℃
● 采用ss316材料焊接的波纹管
● 微分头分辨率：10μm
● z轴刻度以1mm递增
● 上端安装法兰：cf35，螺纹孔
● 下端安装法兰：cf63，通孔
| 法兰尺寸 | xy行程 | z行程 | a压缩 | a拉伸 | 重量（kg) | 型号 | |
| 毫米 | 英寸 |
毫米 |
|||||
| 70 | 2.75 | ±12.5 | 75 | 165 | 240 | 10.2 | sxyz63z75 |
| 100 | 165 | 265 | 10.5 | sxyz63z100 | |||
| 150 | 165 | 315 | 10.9 | sxyz63z150 | |||
产品尺寸 dimension drawing
视频 video
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